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구리전기 도금의 상향식 충진에 있어서 트리블록 공중합체 EPE-8000 첨가제의 효과
Effect of Additive Triblock Copolymer EPE-8000 on Bottom-up Filling in Copper Electroplating

등록 2014.03.26 ⋅ 27회 인용

출처 Electrochem. Sci., 9권 2014년, 영어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.12.11
구리도금에 의한 마이크로비아 충진에 대한 트라이블록 공중합체 EPE 의 효과를 광학현미경을 사용한 단면 이미지로 조사되었다. 전기도금액의 상향식 충전은 EPE 를 추가하여 이루어졌다. 전기화학적 연구결과 EPE 를 추가하면 음극의 분극이 증가하는 것으로 나타났다. 또한, X-선회절 분석은 EPE 를 첨가함에 따라 결...

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