로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 P. Moçotéguy 8건

습식도금 자료분류

자료수 11087 건

추천글

Tag LIST

구리 다마신 공정 화학으로 만든 박막 전착 피막에 대한 전기 음향 측정
Electroacoustic Measurements on Electrodeposited Films Obtained from Copper Damascene Process Chemistries

등록 2011.07.29 ⋅ 49회 인용

출처 Electrochemical and Solid-State Letters, 7권 4호 2004년, 영어 3 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

C. Gabrielli1) P. Mocoteguy2) H. Perrot3) A.Zdunek4) P.Bouard 5), M. Haddix

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.07
다마신 전기도금 공정은 고성능 구리 인터커넥트를 실현하기 위해 마이크로 전자 기술에 주로 사용된다. 그러나 초등각 전착 측면에서 전착물의 품질은 잘 관리되지 않는다. 보이드가 없는 전착물을 얻으려면 수퍼필링 이라고도하는 초등각 전착이 필요하다. 초등각 전착은 입구보다 캐비티 바닥에서 더 빠른 전착이...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 다마신 공정에 있어서 구리욕 노화에 대한 가속화와 양극의 영향
  2. 연구문헌자료.. 구리 전기도금욕에 있어서 음극전류 흐름과 비스- (3-소디움 프로필디설파이드) 분해
  3. 연구문헌자료.. 구리 다마신 전기도금에 있어서 트렌치 필링 기구의 모의 연구와 전기화학
  4. 연구문헌자료.. 다마신 구리 전기도금에서 전기화학 조건
  5. 연구문헌자료.. HIQSA 농도가 60nm급 다마신 공정의 무전해구리 도금에 미치는 영향
  6. 연구문헌자료.. 수소 이온소모에 의한 서브미크로미터 트렌치에서 우선적 구리 전착
  7. 연구문헌자료.. 고아스펙 비율 서브 0.25 mm 트렌치에서 구리의 펄스도금의 3차 전류 분산 모델
  8. 연구문헌자료.. 다마신 층간 금속 구조의 상온 무전해 도금 구리 시드층 공정
  9. 연구문헌자료.. 반도체 소자용 구리배선 형성을 위한 전해 도금
  10. 연구문헌자료.. 반도체와 전기화학 1/2