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전기구리 도금을 이용한 각종 파형 제어에 의한 비아필링
Via filling by electroplating under various waveforms

등록 2008.08.11 ⋅ 53회 인용

출처 표면기술, 49권 12호 1998년, 일어 4 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.05
무전해구리도금 및 PR전류를 인가한 전기구리도금에 의한 비아필링에 관한 검토로, 어느것이라도 필링이 가능한 보고서
  • BY1
    BY-1 황색 염료 노란색~ 주황색 분말 산성 구리 도금조에서 평탄화제 및 분산제 광택과 레베링을 향상시키고 구름낌을 제거 첨가량 10~30 mg/L 참고 [황산구리도금] [황산구...
  • 다마신 전기도금 공정은 고성능 구리 인터커넥트를 실현하기 위해 마이크로 전자 기술에 주로 사용된다. 그러나 초등각 전착 측면에서 전착물의 품질은 잘 관리되지 않...
  • LHE
    저수소 취성 ^ Low Hydrogen Embrittlement (LHE) [수소취성] 참고
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  • 크롬도금액 문제해결을 검토하였다. 논의는 화학적관점 에서뿐만 아니라 전체 도금라인 관점에서 도금문제를 해결하는데 중점을 두었다. 화학적, 물리적, 전기적, 인간적 조...