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구리전석에 의한 비아필링에 있어서 아세트니트릴의 역할
Role of acetonitril in via-filling by copper electrodeposition

등록 : 2009.02.02 ⋅ 20회 인용

출처 : 표면기술, 58권 12호 2007년, 일본어 7 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.09.04
AN전해액의 분극곡선과 전류효율의 측정을 하고 미세공의 구리 비아필링용 전해액으로서, 이미 보고된 전형적인 조성과의 비교로부터, AN 전해액의 전류효율이 변화할때의 메카니즘을 연구

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