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구리전석에 의한 비아필링에 있어서 아세트니트릴의 역할
Role of acetonitril in via-filling by copper electrodeposition

등록 2009.02.02 ⋅ 31회 인용

출처 표면기술, 58권 12호 2007년, 일본어 7 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.09.04
AN전해액의 분극곡선과 전류효율의 측정을 하고 미세공의 구리 비아필링용 전해액으로서, 이미 보고된 전형적인 조성과의 비교로부터, AN 전해액의 전류효율이 변화할때의 메카니즘을 연구
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  • 칼라 바리에이션이 풍부여 장식성이 우수한 광 간보를 이용한 스퍼터다층막에 의한 칼라링기술을 설명하고, 최근의 스퍼터링 기술에 관하여 설명하고, 칼라링을 구성하는 여...
  • 캐소드 전류밀도 A/dm 에 있어서 균일전착성 및 물성이 우수한 구리피막을 만드는 구리 Cu(ii)-EDTA 착화욕의 조성 및 도금조건에 관하여 검토하고 미니스케일 [[균일전착성...
  • 마그네슘 재료는 마그네슘 금속 또는 합금을 가리키는 것으로 한다. 마그네슘 재료의 표면처리를 소개하기 전에 먼저 마그네슘 소재는 가벼운 금속이다는 것을 알고 있어도 ...
  • 하악에 UCLA abutment 에 barv로 연결하여 부목 효과를 높인 다음 전기전착으로 GES sleeve 를 얻어낸 다음 metal framework 을 제작하여 연결 접착시켜 보철물의 안정성과 ...