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3D 패키지용 Via 구리충전시 전류밀도와 유기첨가제의 영향
Effects of Current Density and Organic Additives on via Copper Electroplating for 3D Packaging

등록 : 2014.02.23 ⋅ 21회 인용

출처 : 한국재료학회지, 22권 7호 2012년, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.03
전해도금시 기본적인 전해액만으로도 충분한 도금이 가능하지만, 조성과 농도에 따라 도금된 금속의 물리적 성질의 변화 및 조절이 가능한 유기첨가제를 이용하여 도금된 구리전착막의 특성을 향상시키기 위한 연구들이 진행되고 있다. 유기첨가제의 종류에는 일반적으로 가속제 (Accelerator), 억제제 (Sup-pressor), 그리...
  • 대기업들은 획기적인 탈에너지 창에너지 대책의 추진과 , 그 결과를 착실하게 진행하는데 비하여 중소기업들은 대부분 코스트인상용인을 자체 흡수하기가 어렵고, 그것을 과...
  • 무전해금 Au 도금은 금자체의 화학적 및 전기적 안정성과 외부전원을 사용하지 않는 무전화를 모두 겸비하고 있는 것이 근본적이다. 오늘의 전자산업의 발전은 전자기기의 ...
  • 무전해로 니켈-주석-인 NiSnP 도금을 개발하였다. 도금욕의 금속이온의 공급원으로 염화주석과 황산니켈, 환원제로 차아인산소다, 착화물로 구연산소다로 제조되었다. 이 전...
  • 징케이트 공정에서 아연도금에 대한 알루미늄 Al 및 알루미늄-마그네슘 Al-Mg 합금의 표면 전처리 효과를 SEM 및 XPS 를 사용하여 평가하였다. 농축된 가성소다 NaOH 용액에...
  • 배선물질의 구리로의 전환에 따라 새로운 층간 절연막/확산방지막의 개발. 상감공정을 통한 3차원 패턴구조의 형성, 습식/무전해도금을 이용한 무결함 구리막의 형성에 대한...